Rojas, S., Gomarasca, R., Zanotti, L., Borghesi, A., Sassella, A., Ottaviani, G., et al. (1992). Properties of borophosphosilicate glass films deposited by different chemical vapor deposition techniques. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. B, 10(2), 633 [10.1116/1.586424].
Properties of borophosphosilicate glass films deposited by different chemical vapor deposition techniques
BORGHESI, ALESSANDRO;SASSELLA, ADELE;
1992
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