Carra, C., Barni, R., Di Martino, D., Natalello, A., Riccardi, C. (2019). Deposition and characterization of SiOx-like thin films from HMDSO mixtures plasmas. In 46th EPS Conference on Plasma Physics, EPS 2019. European Physical Society (EPS).
Deposition and characterization of SiOx-like thin films from HMDSO mixtures plasmas
Carra C.;Barni R.;Di Martino D.;Natalello A.;Riccardi C.Ultimo
2019
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